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德國耶拿半導(dǎo)體行業(yè)TOC應(yīng)用解決方案(二):濕化學(xué)品純度控制
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,任何微小污染都可能導(dǎo)致產(chǎn)品良率與性能的顯著下降。隨著集成電路技術(shù)不斷升級,超凈高純試劑的標(biāo)準(zhǔn)也日益嚴(yán)格。每一代微細(xì)加工技術(shù)都必須匹配相應(yīng)純度的化學(xué)品,這對質(zhì)量控制提出了更高要求。

半導(dǎo)體制造中的TOC控制要求
總有機(jī)碳(TOC)分析以其高靈敏度、快速分析和強(qiáng)抗干擾能力,已成為高純濕電子化學(xué)品檢測的關(guān)鍵手段,直接關(guān)系到電子產(chǎn)品的最終質(zhì)量和市場競爭力。
濕電子化學(xué)品的質(zhì)量監(jiān)控
酸類:硫酸、鹽酸、磷酸、硼酸等
堿類:氨水、氫氧化鈉等
其他化學(xué)品:雙氧水等
01
|挑戰(zhàn)一:高純試劑直接進(jìn)樣難題
電子級試劑純度極高,但待測TOC含量極低,傳統(tǒng)稀釋方法會導(dǎo)致TOC含量與空白無異,無法準(zhǔn)確定量。
以雙氧水為例,分解過程中產(chǎn)生的大量氧氣和高溫氣化水分會導(dǎo)致氣流波動,嚴(yán)重干擾測定結(jié)果。
耶拿突破:
獨家VITA技術(shù)實時補償氣體流量波動,支持高達(dá)70%濃度雙氧水直接進(jìn)樣分析。配合高聚焦NDIR檢測器,一次進(jìn)樣即可同步分析TOC和TN參數(shù)。
驗證案例:30%/70%雙氧水測定
70%雙氧水RSD僅0.5%,2.5ppm標(biāo)液回收率達(dá)103%,證實儀器氧化性能優(yōu)異,有效消除氣流波動影響。

02
|挑戰(zhàn)二:酸堿性樣品腐蝕問題
酸堿性樣品直接進(jìn)樣會腐蝕定量閥密封圈和內(nèi)部器械,導(dǎo)致進(jìn)樣體積不準(zhǔn),設(shè)備損壞加速。
耶拿創(chuàng)新:
采用超純水替代樣品進(jìn)入定量閥,在保證進(jìn)樣精度的同時,避免儀器損耗,支持長時間分析酸堿性及含顆粒的高鹽樣品。
驗證案例:電子級硫酸測定
樣品加標(biāo)回收率96%,TOC標(biāo)樣回收率97%,證明儀器對高純硫酸基體耐受性良好。
驗證案例:電子級氨水測定
樣品RSD均小于1%,0.1ppm樣品加標(biāo)回收率99%,標(biāo)樣回收率102%,驗證了低TOC氨水測定的準(zhǔn)確性。

03
|挑戰(zhàn)三:標(biāo)準(zhǔn)曲線制備繁瑣
低TOC濃度樣品測定時,標(biāo)準(zhǔn)曲線配制困難,實驗室難以獲得TOC為零的稀釋液,配制過程易引入空氣中CO₂。
耶拿方案:
multi N/C總有機(jī)碳分析儀具備自動繪制標(biāo)準(zhǔn)曲線功能,無需人工配制,線性可達(dá)0.999以上。校準(zhǔn)周期長達(dá)一年,大幅節(jié)省人力和時間成本。

結(jié)語
德國耶拿multi N/C總有機(jī)碳分析儀憑借直接進(jìn)樣、卓越的酸堿耐受性和智能校準(zhǔn)技術(shù),為高純濕電子化學(xué)品提供了可靠的TOC測定方案,助力企業(yè)精準(zhǔn)監(jiān)控化學(xué)品純度,確保生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量,提升市場競爭力。

END
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